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发明名称
摘要
申请公布号	JP4324355(B2)	申请公布日期	2009.09.02
申请号	JP20020268999	申请日期	2002.09.13
申请人		发明人
分类号	H01L21/28;H01L21/3205	主分类号	H01L21/28
代理机构		代理人
主权项
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