电容装置及与其相关的方法

摘要

本发明涉及包括至少一个平行板电容器的电容装置(10)，该平行板电容器包括彼此部分重叠的第一电极部件、介电层以及第二电极部件，等效电容取决于重叠区域的大小。给定失准极限(Δx_A)。所述第一电极部件包括相对于纵轴(x)对称布置的第一和第二电极(4₁，4₂)，所述第一和第二电极具有彼此面对的相应的第一边，它们是线性的并且平行，使得在其间定义间隙。所述第二电极部件(3)包括第三电极，该第三电极具有设置在所述间隙的相对侧且借助于中间部分(3₃)互连的第一部分(3₁)和第二部分(3₂)，中间部分由函数F(x)根据第一参数k和第二参数A定义。所述两个参数中的一个适于选择成由此允许计算另一个参数，以确定第二电极部件的形状和大小，使得电容装置的电容在失准极限内将是失准不变的。

主权项

1. 一种电容装置(10；20；30；40)，包括至少一个平行板电容器，所述平行板电容器包括第一电极部件(41，42；41′，42′；41＂，42＂；310，320，330)、介电层以及第二电极部件(3；3′；3＂；410，420，430)，它们基本上平行地设置在所述介电层的两侧，并且彼此部分重叠，所述电容装置的等效电容取决于所述第一和第二电极部件的重叠区域的大小，并且给出了定义相应的第一与第二电极部件之间失准的最大可容许程度的失准极限(ΔxA)，其特征在于：所述第一电极部件(41，42；41′，42′；41＂，42＂；310，320，330)包括关于纵轴(x)对称布置的第一和第二电极，所述第一和第二电极(41，42；41′，42′；41＂，42＂；310，320，330)具有彼此面对的相应的第一边，所述第一和第二电极是线性并且平行的，使得在其间定义间隙，所述第二电极部件(3；3′；3＂；410，420，430)包括第三电极，所述第三电极包括第一部分(31；31′；31＂)和第二部分(32；32′；32＂)，所述第一部分和第二部分设置在所述间隙的相对侧，并借助于中间部分(33；33′；33＂)互连，所述中间部分由第一曲边和第二曲边界定，其中第一和第二曲边关于所述纵轴对称并且反向，并且所述中间部分的形状由取决于第一参数k和第二参数A的函数F(x)给出，并且所述两个参数中的一个参数适于被选择，由此允许计算另一个参数，以确定第二电极部件(3；3′；3＂；410，420，430)的形状和大小，使得所述电容装置的电容在所述失准极限内是失准不变的。