Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil

摘要

Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil (10) mit einer Halterung (12) mit einer an einer Oberfläche der Halterung (12) ausgebildeten Aussparung (14); einer Membran (16), welche die Aussparung (14) zumindest teilweise abdeckt; mindestens einem auf der Membran (16) angeordneten Aktivelement (24) mit Spannungsanschlüssen; wobei das Aktivelement (24) dazu ausgebildet ist, bei Anlegen einer Spannung an das Aktivelement (24) seine räumliche Ausdehnung zu variieren und die Membran (16) zu verformen; und einem auf der Membran (16) angeordneten Mikroelement (22), welches über ein Verformens Aktivelement (24) verstellbar ist. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil (10) und ein Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen Bauteils (10).