坐标检测装置及被检测体检查装置

摘要

本发明将点光直接照射在被检测体上，稳定地检测出高精度的坐标位置。在被检测体检查装置的摆动保持架上(9)上承载玻璃基板(8)，并设置有可在该玻璃基板(8)的表面上沿X轴方向移动的导向杆(40)。在导向杆(40)上设置有用于向玻璃基板(8)的缺陷照射点光的激光头(44)，并使该激光头(44)可通过第二带(42)沿Y轴方向移动。点光的光束以角度α照射。在进行宏观观察时，通过操作部使导向杆(40)与激光头(44)沿X轴和Y轴方向移动，从而使玻璃基板(8)上的点光移动到缺陷上。以此时各电动机的驱动量作为位置信息，通过坐标检测部求出坐标数据。使具有显微镜功能的观察部移动到坐标位置，以进行缺陷的微观观察。

主权项

1.一种坐标检测装置，其特征在于，包括：用于在宏观照明部从上方照射的宏观照明光下保持被检测体的保持架；使所述保持架向观察者容易目视观察的角度旋转的摆动装置；在所述保持架上，在所述被检测体的两侧，对置地配置的一对导轨；长边方向沿着与宏观照明光的照射方向相同的方向配置，并且以相对所述被检测体的表面非接触的方式在所述一对导轨上移动的导向部件；可移动地设置在所述导向部件的长边方向上，相对所述被检测体的表面倾斜地照射点光的激光头；操作部，用于在通过所述摆动装置使所述保持架倾斜至给定角度的状态下，使所述导向部件和所述激光头分别移动并根据所述点光的照射位置指定所述被检测体上的缺陷位置；以及坐标检测部，用于根据所述导向部件和所述激光头的各移动位置的坐标数据求出由所述点光指定的所述缺陷位置的坐标数据。