制造有机发光器件的方法

摘要

本发明提供了一种利用等离子体沉积和/或热沉积制造有机发光器件的方法。通过第一自由基与第二自由基反应来形成绝缘层。第一自由基通过使第一气体穿过等离子体产生区域和加热体来形成，第二自由基通过使第二气体穿过加热体来形成。该方法通过基本分解源气体改善了所得绝缘层的特点并提高了源气体的使用效率。绝缘层可为形成在有机发光器件上的钝化层。该方法使用等离子体装置如感应耦合等离子体化学气相沉积(ICP-CVD)装置或等离子体增强化学气相沉积(PECVD)装置。

主权项

1、一种制造有机发光器件的方法，所述方法包括的步骤有：制备基底，所述基底包括：第一电极，至少包括发射层的有机层，第二电极；使第一气体穿过等离子体产生区域；使所述第一气体穿过加热体，其中，使所述第一气体穿过所述等离子体产生区域和所述加热体的步骤形成了第一自由基；使第二气体穿过所述加热体，其中，使所述第二气体穿过所述加热体的步骤形成了第二自由基；所述第一自由基与所述第二自由基反应，以在所述第二电极上形成绝缘层。