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发明名称 Edge removal of silicon-on-insulator transfer wafer
摘要
申请公布号 EP1662560(A3) 申请公布日期 2009.07.22
申请号 EP20050257236 申请日期 2005.11.24
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 DONOHOE, RAYMOND J.;VEPA, KRISHNA;MILLER, PAUL V.;RAYANDAYAN, RONALD;WANG, HONG
分类号 H01L21/762;H01L21/302 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
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