在衬底处理中利用弯液面的设备和方法

摘要

本发明提供了一种用于处理衬底的设备，该设备包括在工作时靠近衬底表面的邻近头。该设备还包括邻近头表面上朝向限定在邻近头中的空腔的开口，其中空腔通过开口传送活化剂到衬底表面。该设备进一步包括邻近头表面上的多个导管，用于在围绕开口的衬底表面上产生流体弯液面。

主权项

1.一种用于处理衬底的设备，包括：邻近头，配置为工作时靠近衬底表面；开口，位于邻近头表面上，朝向限定在邻近头中的空腔，该空腔被定义为具有一空腔表面的空腔窗口，该空腔表面是间隔远离该衬底表面并在Z轴方向进入到邻近头中，因此该空腔在邻近头中界定了一容积，所述空腔设置有至少一个入口，以通过开口传送活化剂到衬底表面；以及多个导管，位于邻近头表面上，该邻近头表面非间隔远离衬底表面，该多个导管和邻近头表面围绕在空腔的空腔窗口的四周方位，以使该多个导管能够在衬底表面上产生流体弯液面，该多个导管包括将流体应用到衬底表面的入口和从衬底表面去除流体的出口。