类金刚石薄膜镀膜方法

摘要

本发明是一种类金刚石薄膜镀膜方法，其包括以下步骤：提供一底材；将该底材清洗后放入真空腔内；将真空腔抽真空，然后通入氩气，对底材进行等离子清洗；以钛为靶材，于底材表面镀一钛金属层；向真空腔内通入氩气与氮气，以钛为靶材，于钛金属层表面镀一氮化钛层；以石墨与钛为靶材，于氮化钛层镀一含钛的类金刚石薄膜，其中溅射开始时于靶材上施加一-20V的初始溅射偏压，然后溅射过程中逐渐提高溅射靶材的偏压。通过本发明制造的类金刚石薄膜具有高硬度及高附着性。

主权项

1.一种类金刚石薄膜镀膜方法，其特征在于：其包括以下步骤：提供一底材；将该底材清洗后放入真空腔内；将真空腔抽真空，然后通入氩气，对底材进行等离子清洗；以钛为靶材，于底材表面镀一钛金属层；向真空腔内通入氩气与氮气，以钛为靶材，于钛金属层表面镀一氮化钛层；以石墨与钛为靶材，于氮化钛层镀一含钛的类金刚石薄膜，其中溅射开始时于靶材上施加一-20V的初始溅射偏压，然后溅射过程中逐渐提高溅射靶材的偏压。