真空蒸镀机加磁基片固定装置

摘要

本实用新型涉及一种真空蒸镀机中附加磁性块和固定待镀基片的固定装置，它是个至少一端开口的柱状匣体，其两侧壁上设有与真空蒸镀机相连接的凸块，匣体的下侧内壁设有搁放基片的平面，相对应处开设有露出基片蒸镀面的开孔；而匣体空腔可以是分隔成并排三个的，露出基片蒸镀面的开孔位于中间的空腔中；还有该匣体空腔左右两侧或匣体左右两侧空腔内也还可以设有磁性块，搁放基片的平面和露出基片蒸镀面的开孔被设置在两磁性块中间的。其结合了工艺需要和真空蒸镀机内腔的结构条件，采用水平设置加设磁场的形式，具有结构简单，使用可靠，本体和磁性块拆卸固定容易的特点。

主权项

1、一种真空蒸镀机加磁基片固定装置，其特征在于：它是个至少一端开口的柱状匣体，其两侧壁上设有与真空蒸镀机相连接的凸块，匣体的下侧内壁设有搁放基片的平面，相对应处开设有露出基片蒸镀面的开孔。