固体摄像装置及其制造方法

摘要

本发明公开了固体摄像装置及其制造方法。该固体摄像装置包括光接收像素部、黑电平基准像素部、含有第一～第四金属布线层的多层布线部、第一遮光膜、第二遮光膜、第三遮光膜和第四遮光膜。将第一金属布线层中的一些第一金属布线以彼此隔开预定距离并按照多行布置在黑电平基准像素部上方，形成第一遮光膜；将第二金属布线层中的一些第二金属布线布置在这些第一金属布线之间且位于上方，形成第二遮光膜；将第三金属布线层中的一些第三金属布线在垂直于第二遮光膜的方向上以彼此隔开预定距离并按照多行布置在黑电平基准像素部上方，形成第三遮光膜；并且将第四金属布线层中的一些第四金属布线布置在这些第三金属布线之间且位于上方，形成第四遮光膜。

主权项

1. 一种固体摄像装置，其包括：形成于半导体基板上的光接收像素部；形成于所述半导体基板上的黑电平基准像素部；形成于包括所述光接收像素部和所述黑电平基准像素部的所述半导体基板上的多层布线部，所述多层布线部包括形成于所述半导体基板上的绝缘层和形成于所述绝缘层中的多个金属布线层，这些金属布线层包括第一、第二、第三和第四金属布线层；第一遮光膜，其通过将所述第一金属布线层中所形成的多个第一金属布线的一些第一金属布线按照彼此隔开预定距离的关系并按照多行布置在所述黑电平基准像素部上方来形成；第二遮光膜，其通过将位于所述第一金属布线层上方的所述第二金属布线层中所形成的多个第二金属布线的一些第二金属布线布置在位于所述黑电平基准像素部上方的所述第一金属布线之间且在这些第一金属布线上方来形成；第三遮光膜，其通过将位于所述第二金属布线层上方的所述第三金属布线层中所形成的多个第三金属布线的一些第三金属布线在垂直于所述第二遮光膜的方向上按照彼此隔开预定距离的关系并按照多行布置在所述黑电平基准像素部上方来形成；以及第四遮光膜，其通过将位于所述第三金属布线层上方的所述第四金属布线层中所形成的多个第四金属布线的一些第四金属布线布置在位于所述黑电平基准像素部上方的所述第三金属布线之间且在这些第三金属布线上方来形成。