| 发明名称 | 离子源 | ||
| 摘要 | 本发明涉及离子枪(10)，所述离子枪包括由RF源(12)驱动的等离子发生器(11)、具有输出端(14)的等离子或源腔(13)，穿过输出端(14)安装有加速器格栅(15)。加速器格栅(15)包括四个独立的格栅。最靠近输出端(14)的第一格栅(16)由DC电源(16a)保持正电压，第二格栅(17)由DC电源(17a)保持在强负电压。第三格栅(18)由DC电源(18a)保持在负电压，所述负电压远低于第二格栅(17)，并且第四格栅(19)接地。也描述了安装这些格栅的装置。 | ||
| 申请公布号 | CN101490789A | 申请公布日期 | 2009.07.22 |
| 申请号 | CN200780027484.7 | 申请日期 | 2007.07.12 |
| 申请人 | 阿维扎技术有限公司 | 发明人 | 加里·普劳德富特;戈登·罗伯特·格林;罗伯特·肯尼思·特罗韦尔 |
| 分类号 | H01J27/18(2006.01)I;H01J37/08(2006.01)I | 主分类号 | H01J27/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京邦信阳专利商标代理有限公司 | 代理人 | 景全斌 |
| 主权项 | 1、一种离子源，其特征在于，包括：含有等离子体并具有离子输出端的腔体；安装在所述输出端用于在一个方向上从等离子体牵引离子流并形成离子束的加速器，其中，所述加速器包括四个间隔的基本平行的格栅，沿所述方向编号的第二和第四格栅由两组支撑定位，其中一组支撑第二和第四格栅，另一组支撑第三格栅。 | ||
| 地址 | 英国格温特郡 | ||