微型内燃机内置平板电容点火器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种微型内燃机内置平板电容点火器及其制备方法。首先，采用等离子体增强化学气相沉积工艺在硅基体上沉积一层氮化硅薄膜作为绝缘层；接着采用微电子工艺在硅基上刻蚀出微燃烧室腔体的一部分，在刻蚀过程中从硅片的背面制作出两个端面对齐的悬臂梁作为支撑；然后采用蒸镀工艺，在悬臂梁上沉积上一层金薄膜作为金属平板电容器、导线和接线座；再在电镀液中进行电镀和去离子水清洗；最后采用微封装工艺与微燃烧室的其它部分封装在一起。

主权项

1、一种微型内燃机内置平板电容点火器，包括双面沉积有绝缘层的硅基片(1)，其特征在于，所述的硅基片(1)背面和正面设有与微型内燃机内置燃烧室的腔体相对应的腔形，硅基片(1)的背面设有与微燃烧室的腔体相对应的空心腔体(3)，使硅基片(1)形成两个端面对齐的悬臂梁结构，在硅基片(1)正面，于悬臂梁结构中心对应处设有两端分别通过导线(2)和接线座(5)连接的金属平板电容器(4)。