固态成像装置及其制造方法

摘要

一种具有光电转换装置的固态成像装置的制造方法，该方法包括：1)形成多个在颜色上彼此不同的滤色器；2)在滤色器上形成透明树脂层；3)在透明树脂层上形成刻蚀控制层，能够以与透明树脂层的刻蚀速率不同的刻蚀速率刻蚀该刻蚀控制层；4)通过使用易热流树脂材料在刻蚀控制层上形成透镜母版；5)通过干法刻蚀将透镜母版的图案转移到刻蚀控制层以形成中间微透镜；以及6)通过干法刻蚀将中间微透镜的图案转移到透明树脂层以形成转移透镜。

主权项

1、一种固态成像装置的制造方法，该固态成像装置包括两维设置的光电转换装置；各自设置成与每个所述光电转换装置相对应的滤色器；以及多个各自直接或间接设置在所述滤色器上的转移透镜；该方法包括：1)形成多个在颜色上彼此不同的滤色器；2)在所述滤色器上形成透明树脂层；3)在所述透明树脂层上形成刻蚀控制层，能够以与所述透明树脂层的刻蚀速率不同的刻蚀速率刻蚀该刻蚀控制层；4)通过使用易热流树脂材料在所述刻蚀控制层上形成透镜母版；5)通过干法刻蚀将所述透镜母版的图案转移到所述刻蚀控制层以形成中间微透镜，其由所述刻蚀控制层形成；以及6)通过干法刻蚀将所述中间微透镜的图案转移到所述透明树脂层以形成所述转移透镜，其由所述透明树脂层形成，其中所述刻蚀控制层的刻蚀速率小于所述透明树脂层的刻蚀速率，并且其中所述刻蚀控制层的刻蚀速率小于构成所述透镜母版的树脂层的刻蚀速率。