非晶硅膜的批次成形系统

摘要

一种非晶硅膜的批次成形系统，包含有：至少一p层成形腔，具有可开启/关闭的一密封门；至少一i层成形腔，具有可开启/关闭的一密封门；至少一n层成形腔，具有可开启/关闭的一密封门；一共享真空腔，与该些成形腔相连；一运输装置，具有一承载面，该承载面可分别运动至各该密封门前方；以及一载料车，载运复数的片状物料，该载料车可由该承载面通过各该密封门而进入前述的各该成形腔内，或由各该成形腔内退出至该承载面上，可由此提高生产速度，并可一次多片以批次方式成形。

主权项

1、一种非晶硅膜的批次成形系统，包含有：至少一p层成形腔，用以在一片状物料上沉积一层非晶硅p型薄膜，该p层成形腔具有可开启/关闭的一密封门；至少一i层成形腔，用以在一片状物料上沉积一层非晶硅i型薄膜，该i层成形腔具有可开启/关闭的一密封门；至少一n层成形腔，用以在一片状物料上沉积一层非晶硅n型薄膜，该n层成形腔具有可开启/关闭的一密封门；一共享真空腔，与该p层成形腔、该i层成形腔、以及该n层成形腔相连，通过该些密封门的开启/关闭来使该些成形腔与该共享真空腔内部隔离/相通；一运输装置，位于该共享真空腔内，具有一承载面，该运输装置可运动而使该承载面分别运动至各该成形腔的密封门前方；以及一载料车，位于该运输装置的承载面上，载运复数的片状物料，该载料车可由该承载面通过各该密封门而进入前述的各该成形腔内，或由各该成形腔内退出至该承载面上。