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发明名称 apparatus for making etching area on substrate
摘要
申请公布号 KR20090007374(U) 申请公布日期 2009.07.22
申请号 KR20080000717U 申请日期 2008.01.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;H01L21/027;H01L21/302 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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