产生氟和循环氟的方法和设备

摘要

本发明涉及用来产生和循环氟的设备和方法，申请人认识到氟分离器单独使用或与等离子体发生器结合，能在用于薄膜加工的地点生产足够量的氟。氟分离器可以是冷凝器，膜分离装置，是固体电解质的氟离子导体或前述的组合形式。在某些实施方式中，含氟的反应产物通过氟分离器。在其他实施方式中，分离的氟单独或与其他含氟原料结合通入等离子体发生器。氟分离器将氟循环，并从体系中除去废产物。

主权项

1.一种制备处理室使用的原子氟气流的设备，该设备包括：箱体，有接受含氟气体的进口；用来从含氟气体分离出氟的电化学池，电化学池至少部分设置在箱体内，有出口通道；将所述出口通道连接到处理室的接管；所述电化学池包括：至少一个电极；靠近至少该一个电极的是固体电解质的氟离子导体。