快速热处理系统

摘要

本发明公开了一种快速热处理系统。该快速热处理系统包括处理室，其内表面具有多线形横截面，由相互分离且具有相同半径及圆心的多条弧及将这些弧连接起来的多条线所组成。该处理室克服了传统圆形处理室及方形处理室的缺点。而且，石英窗口具有一外周边表面，由倾斜表面、垂直表面和弯曲表面组合而成，因此即使石英窗口以反转的状态安装于处理室中，也可以保持处理室与石英窗口之间的密封。通过双重连接结构将边环的构件连接起来，从而与现有技术相比，可确保对热变形有很高的抗性。除此之外，该快速热处理系统的各个构件具有独立的冷却系统，从而允许对各个构件进行有效的温度控制。

主权项

1.一种快速热处理系统，其包括：处理室，其一侧壁上具有一个或多个处理气体注入口并且其相对侧壁上具有至少两个处理气体排出口；热源，其安装于处理室中，用于对晶片进行加热；石英窗口，其安装于处理室上，使石英窗口可位于热源之下；边环支架，其安装于处理室中，使边环支架可位于石英窗口之下；以及边环，其配备于边环支架上，用于安装晶片，其中，所述处理室的内表面具有多线形横截面，由相互分离且具有相同半径、相同圆心的多条弧及将这些弧相互连接起来的多条直线所组成。