举升装置及调整举升装置平面度的方法

摘要

本发明公开了一种举升装置及调整举升装置平面度的方法，包括驱动装置，驱动装置连接有升降架，升降架上设有升针装置，驱动装置通过升降架及升针装置带动升针做直线往复运动，升针装置包括升针装置套筒，升针装置套筒内设有导杆，导杆可在升针装置套筒内滑动，导杆的一端安装有升针，另一端通过调节装置与升降架连接，调节装置包括设于导杆与升降架之间的调节旋钮和设于导杆上的紧定螺母，升针装置套筒与导杆之间还设有密封装置和导向装置，导杆与升针通过卡套或螺纹连接。还包括专用的高度测量规，用于测量升针的高度。结构简单、调整方便、运行平稳、效率高，主要适用于微电子领域的半导体晶片加工设备，也适用于其它的领域。

主权项

1、一种举升装置，其特征在于，包括驱动装置，所述的驱动装置连接有升降架；还包括至少三个升针装置，升针装置的一端与升降架连接，另一端设有升针，驱动装置能通过升降架及升针装置驱动升针做直线往复运动；所述的升针装置包括升针装置套筒，升针装置套筒内设有导杆，所述导杆可在升针装置套筒内滑动，所述导杆的一端安装有升针，另一端通过调节装置与升降架连接。