容量减少的载物台，传送，加载端口，缓冲系统

摘要

一种半导体工件加工系统，该系统具有至少一种加工工件的制造装置，一种一级传送系统，一种次级传送系统以及一个或多个一级与次级传送系统之间的接口。主级与次级传送系统均具有一个或多个基本的常速传送单元以及与常速部分通信的排队部件。

主权项

1. 一种半导体工件加工系统包括：至少一种用于加工半导体器件的加工工具；一种主级传送系统，其具有一个或多个常速的传送循环；一种次级传送系统，其具有一个或多个常速的传送循环，次级传送系统通过排队部件与主级传送系统相连，其中排队部件的设置允许物料在主级系统与次级系统之间移动，并且物料的移动不会干扰主级或次级传送系统的流程；并且一个或多个界面通过界面分流器连接到一个或多个传送循环的，这种界面分流器与至少一种加工工具相接，其中的接口分流器的设置允许物料在次级传送系统一个或多个传送循环与一个或多个接口之间移动，并且这种移动不会干扰次级传送系统；其中主级和次级传送系统中物料的移动是连续的。