发明名称 芯片互连结构及系统
摘要 一种芯片与芯片间的互连系统,包括:半导体芯片;形成于所述半导体芯片上的焊料凸块;基底;基底表面的复数个接线端;所述基底中的与接线端电连接的多层互连线;其中,所述半导体芯片通过焊料凸块与基底的接线端相连;所述焊料凸块、接线端与多层互连线形成低阻抗的电连接设计,阻抗为30~40欧姆。本发明的互连系统具有功耗低,速度快,延迟小,信号传真度高等优点。
申请公布号 CN100517691C 申请公布日期 2009.07.22
申请号 CN200610029918.4 申请日期 2006.08.10
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 王津洲
分类号 H01L25/00(2006.01)I;H01L23/48(2006.01)I;H01L23/498(2006.01)I;H01L23/66(2006.01)I 主分类号 H01L25/00(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 逯长明
主权项 1、一种芯片与芯片间的互连系统,其特征在于包括:半导体芯片;形成于所述半导体芯片上的焊料凸块;和基底;基底上和下表面的复数个接线端;所述基底中的与接线端电连接的多层互连线;其中,所述半导体芯片通过焊料凸块与基底的接线端相连;所述焊料凸块、接线端与多层互连线形成的电连接阻抗为30~40欧姆。
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