| 发明名称 | 真空装置、其泄漏率测量方法及测量用程序和存储介质 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种在排气部不使用闸阀的真空装置中，能够准确地测量真空腔室泄漏率的泄漏率测量方法。该方法是对测量如下构成的真空装置的泄漏率的泄漏率测量方法，该真空装置包括：内部收容被处理体并进行处理的真空腔室、经过作为通导性可变阀门的的第一阀门与真空腔室相连接的第一排气泵、连接在第一排气泵排气方向下游的第二阀门，该装置设有从所述第一排气泵和所述第二阀门之间的排气通道分支出来的、以连通状态与真空腔室相连接的循环通道，在所述第一阀门设定在规定的通导性，所述第二阀门闭合的状态下，由所述第一排气泵通过所述循环通道使气体向所述真空腔室循环，对所述真空腔室内的压力进行监测。 | ||
| 申请公布号 | CN100517626C | 申请公布日期 | 2009.07.22 |
| 申请号 | CN200610008362.0 | 申请日期 | 2006.02.21 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 北泽贵;小林敦;手塚一幸 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I;G01M3/26(2006.01)I;C23F4/00(2006.01)I;C23C14/00(2006.01)I;C23C16/00(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙 淳 |
| 主权项 | 1.一种泄漏率的测量方法，该方法是测量如下构成的真空装置的泄漏率的泄漏率测量方法，该真空装置包括：内部收容被处理体并进行处理的真空腔室、经过作为通导性可变阀门的第一阀门与所述真空腔室相连接的第一排气泵、与所述第一排气泵相比连接在排气方向下游的第二阀门，其特征在于，设有从所述第一排气泵和所述第二阀门之间的排气通道分支出来的、以连通状态与所述真空腔室相连接的循环通道，在所述第一阀门设定在规定的通导性，所述第二阀门闭合的状态下，由所述第一排气泵通过所述循环通道使气体向所述真空腔室循环，对所述真空腔室内的压力进行监测。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||