| 摘要 |
1. Устройство (10) для позиционирования и фиксирования тонких подложек, предпочтительно кремниевых подложек (14), после разрезания, предпочтительно разрезания пильной проволокой, блока подложек, предпочтительно блока (13) кремниевых подложек, отличающееся тем, что кассета (17), выполненная с возможностью приема блока (13) подложек, снабжена двумя или более прижимными планками (20), причем обращенные к блоку (13) подложек стороны прижимных планок (20) снабжены элементами (32, 33, 34, 36), выполненными с возможностью вхождения в узкую щель (15) от разреза между подложками (14) с сохранением расстояния между подложками (14) и с обеспечением опоры для подложек (14). ! 2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что находящиеся напротив друг друга боковые прижимные планки (20) с сохраняющими расстояние и обеспечивающими опору элементами (32, 33, 34, 36) в верхней области кассеты (17) входят в области щелей (15) от разреза между боковыми кромками (28) подложек (14) разрезанного блока (13) подложек, висящего на несущей стеклянной пластине (11) и обращенного от основания кассеты (17). ! 3. Устройство по п.2, отличающееся тем, что боковые прижимные планки (20) выполнены с возможностью горизонтального входа сохраняющими расстояние и обеспечивающими опору элементами (32, 33, 34, 36) в щель (15) от разреза или с возможностью откидывания. ! 4. Устройство по одному пп.1-3, отличающееся тем, что кассета (17) со стороны основания оснащена опорными поперечинами (19) для торцевых кромок (26) подложки (14), обращенных от несущей стеклянной пластины (11). ! 5. Устройство по одному пп.1-3, отличающееся тем, что кассета (17) оснащена боковыми направляющими поперечинами (18) для боковых кромок (28) подложки (14). ! 6. Устройс |
