探针卡校正设备

摘要

本发明为一种探针卡校正设备，是将一低倍显微镜及一高倍显微镜共同组装于一转换块上，再将转换块滑设于一支架上。故当转换块沿着支架移动并定位于第一位置时，可使用转换块上之低倍显微镜以对准比对罩，藉以进行低倍率之显微检视与调针作业；又当转换块沿着支架移动并停止于第二位置时，可改用转换块上之高倍显微镜以对准比对罩，藉以进行高倍率之显微检视与调针作业。因此，透过本发明之转换块移动转换于第一位置与第二位置之间，能快速变换使用其上所设置的低倍显微镜、及高倍显微镜，故能达成精准、方便、迅速地校正探针卡的目的。