| 摘要 |
本发明系有关一种具高分辨率周期结构之聚合物波导过滤器及其制造方法，其包括将一第一光阻均匀地分散涂布在该基板一面上；将已设计好的光栅图案感光在该第一光阻上；将该基板烘烤并置入显影剂中显影；于该第一光阻上覆设一层负光阻；再将该负光阻进行显影而形成一道第一槽沟并形成该光栅图案；将一层稀薄的聚二甲基矽氧烷(PDMS)薄膜涂布在已有光栅图案的该负光阻母模上，经过烘烤后，使该聚二甲基矽氧烷薄膜被催化并自该负光阻母模上被剥离，进而获得一个聚二甲基矽氧烷薄膜的模子；将该聚二甲基矽氧烷薄膜模子置放在一第一基板上，并使该聚二甲基矽氧烷薄膜模子与第二基板之间具有间隔而形成一第一滑道，再于该第一滑道内注入一第一紫外聚合物并经紫外光下催化，以形成一个具有一槽沟的聚合物模子，且于该槽沟底部形成有光栅图案，该聚合物模子可作为一聚合物波导过滤器的一个覆盖层；将一聚二甲基矽氧烷薄层涂覆在一第一载片上，该第一载片被放置在高于聚合物模子的槽沟上方，且使该第一载片与该聚合物模子之间形成一条由该槽沟所形成的矩形通道，将一第二紫外聚合物注入到该矩形通道，使该第二紫外聚合物填满在该聚合物模子的该槽沟内，在经过紫外线催化后，使该第二紫外聚合物作为波导核心。 |
