| 摘要 |
本发明之课题在提供一种感光性树脂及感光性组成物，该感光性树脂不会伴随有产酸剂及具有属于光阻之主成份之酸解离基的聚合物之间互溶性不良之问题，而可得良好形状之图案。解决该课题之方法，在提供一种具有下式(1)所示之重复单位、下式(2)所示之重复单位和下式(3)所示之重复单位之至少一方、以及下式(4)所示之重复单位，必要时再具有下式(5)所示之重复单位之感光性树脂。#P 096144706P01.bmp(式(1)中，R#sB!1#eB!表示碳数2至9之直链状或分枝状之2价烃基，R#sB!2#eB!至R#sB!5#eB!各自独立地表示氢原子或碳数1至3之直链状或分枝状之烃基，R#sB!6#eB!及R#sB!7#eB!各自独立地表示有机基，R#sB!6#eB!及R#sB!7#eB!可一起形成2价之有机基。X#sP!-#eP!表示阴离子。)#P 096144706P02.bmp(式(2)中，R#sB!8#eB!表示碳数为2至9之直链状或分枝状之烃基。)#P 096144706P03.bmp#P 096144706P04.bmp#P 096144706P05.bmp |
