| 主权项 |
1.一种基板水平湿制程之除液装置，其系设于一基板加工装置之一槽体上，且包括有至少一吸除管、一泵浦、一入水管以及一循环管，其中：吸除管设于槽体槽壁的旁侧；入水管的两端分别连通于该槽体以及该泵浦之一入水口；循环管的两端分别连通于该泵浦之一出水口以及该槽体，该循环管之中段形成一管径内缩的颈缩部，该颈缩部与各吸除管相连通。2.如申请专利范围第1项所述之基板水平湿制程之除液装置，其具有复数个吸除管，该吸除管设于槽体出、入口端处槽壁的旁侧。3.如申请专利范围第1或2项所述之基板水平湿制程之除液装置，其中前述槽体进一步以至少一隔板分隔出复数个容室，并于该槽体上设有复数组本创作之除液装置，各除液装置分别对应一容室，且各除液装置之吸除管分别设于槽体槽壁以及各隔板旁侧。4.如申请专利范围第而或2项所述之基板水平湿制程之除液装置，其中前述吸除管之吸入口呈条状细缝而沿该吸除管设置。5.如申请专利范围第1或2项所述之基板水平湿制程之除液装置，其中前述吸除管之吸入口包含有复数个呈间隔排列设置的圆孔，并沿该吸除管设置。6.如申请专利范围第1或2项所述之基板水平湿制程之除液装置，其中前述吸除管之吸入口包含有复数个呈间隔排列设置的长孔，并沿该吸除管设置。图式简单说明：第一图为本创作于实施状态之立体外观图。第二图为本创作于实施状态之侧视示意图。第三图为本创作于另一实施状态之侧视示意图。第四图为现有技术之立体外观图。 |
