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发明名称
蒸镀掩膜及蒸镀掩膜的制造方法
摘要
本发明是在于提供一种可将蒸镀材料以高的利用效率来成膜之蒸镀掩膜。蒸镀掩膜具备金属制薄板,其系具有第1面及与第1面呈相反侧的第2面,形成有延伸于第1面与第2面之间的贯通孔。在金属制薄板的第1面侧,形成有线状延伸的沟。在金属制薄板的第2面侧,形成有穴。沟与穴是连通,藉此,藉由沟与穴来形成贯通金属制薄板的贯通孔。
申请公布号
TW200923110
申请公布日期
2009.06.01
申请号
TW097131003
申请日期
2008.08.14
申请人
大日本印刷股份有限公司
发明人
小川和也
分类号
C23C14/04(2006.01);G02B5/20(2006.01)
主分类号
C23C14/04(2006.01)
代理机构
代理人
林志刚
主权项
地址
日本
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