| 摘要 |
一种曝光装置，可经由液体来曝光一基体，包含有一基体台，系组构成能固持住该基体，并能移动。该基体台包含有一顶板、一基体固持件，设置于该顶板上，并系组构成能固持住该基体、以及一支撑板固持件，设置于该顶板上，成为一与该基体固持件分开的个别的物体，并系组构成能在环绕着由该基体固持件加以固持住的该基体的情形下固持住一支撑板。该基体固持件包含有一延伸部，具有一表面，面对着由该支撑板固持件加以固持住之该支撑板的一背侧表面。该支撑板固持件内设有一收集埠，经由之可收集进入至位于该支撑板之该背侧表面与该延伸部之该表面之间的一间隙内的液体。 |
