具有多重影像输出元件之显微镜及其积体电路测试装置

摘要

一种显微镜，其包含一物像分享器及复数个影像输出元件。该物像分享器包含一用以导引一照射光至一物件之第一分光器、一用以收集该物件之反射光并将该反射光聚焦于该第一分光器之正透镜、一用以将该反射光分派至复数个光学路径之第二分光器以及复数个设置于该光学路径上且用以形成该物件之影像的负透镜，该影像输出元件则系用以从该负透镜接收该物件之影像。