非球面镜面误差分析系统及方法

摘要

一种非球面镜面误差分析系统包括：数据获取模组，用于获取工件之设计数据及测量数据；误差分析模组，用于生成设计曲线与测量曲线，对测量曲线进行座标变换，计算设计曲线以及座标变换后的测量曲线之间的误差的大小，获取误差分析数据并根据该误差分析结果生成误差曲线；及输出模组，用于输出误差分析数据以及误差曲线。本发明还提供一种非球面镜面误差分析方法。利用本发明可自动分析非球面镜面工件之测量数据与设计数据之间的误差，并直观的反映出误差曲线及相关数据。