| 摘要 |
本发明的课题为提供一种涂布装置及涂布方法，即使是基板之固定于平台需要时间的情形，也能抑制涂布装置全体的周期时间长期化。本发明的解决手段为以如下之构成：一种涂布装置的涂布方法，包含：在平台的表面承载基板之基板承载制程；在被承载于平台的表面之基板上形成初期膜之初期膜制程；以及一边由涂布单元使涂布液吐出，一边在基板上形成涂布膜之涂布膜形成制程，其中基板承载制程具有吸附基板于平台的表面之吸附制程，该吸附制程包含：吸附包含涂布开始位置之基板的初期膜形成区域之初期吸附制程；以及吸附除了初期膜形成区域之外之基板的涂布膜形成区域之主吸附制程，在初期吸附制程完了后主吸附制程完了前，开始初期膜形成制程。 |
