基板处理装置及基板处理方法

摘要

本发明提供一种抑制在处理槽内部之处理液搅拌，且可效率良好地将粒子等异物排出至处理槽外部之基板处理装置。基板处理装置1从喷出喷嘴13朝向形成于内槽11之侧壁112a、112b之沟部14喷出氢氟酸溶液。因此，从喷出喷嘴13所喷出之氢氟酸溶液碰到沟部14而扩散，作为低速且均匀之液流而朝向内槽11之上部行进。因此，产生在内槽11内部之金属成分或异物不在内槽11之内部被搅拌而朝向内槽11之上部浮起，且与氢氟酸溶液一同迅速地排出至外槽12。