用于控制光学元件的温度之装置

摘要

一种用于控制配置在一真空环境中一光学元件的温度之装置。该装置具有一冷却设备其具有一辐射冷却部件，经配置与该光学元件分开，用以藉由辐射热传递冷却该光学元件。一控制器用于控制该辐射冷却部件之温度。再者，该装置包含一加热部件用于加热该光学元件。该加热部件系连接至该控制器用于控制该加热部件之温度。该所构成用于控制温度装置特别地能够搭配一EUV显微蚀刻术工具中一光学元件使用，导致其之光学装置之一稳定的性能。