光罩及薄膜电晶体基板

摘要

一种光罩及薄膜电晶体基板。光罩系用以制造一薄膜电晶体基板。光罩具有一第一曝光区、一第二曝光区及一第三曝光区。第二曝光区系位于第一曝光区及第三曝光区之间。光罩包括一第一周边线路图案、一第一虚拟引线图案、一第一重合画素图案及一第二重合画素图案。第一周边线路图案系位于第一曝光区。第一虚拟引线图案系位于第一曝光区，并邻接于第一周边线路图案。第一重合画素图案系位于第一曝光区，并邻接于第一虚拟引线图案。第二重合画素图案系位于第二曝光区，第一重合画素图案与第二重合画素图案互补。其中第一重合画素图案与第二重合画素图案重叠曝光后，第一曝光区与第二曝光区所曝光之图案相互接合。