抛光垫

摘要

本发明提供一种抛光垫，其包括具有抛光表面之抛光层，该抛光表面包括复数个配置在该抛光层内距该抛光表面具有可测量深度之凹槽及不具该等凹槽之阻障区域，及配置在该阻障区域内并被其围绕之透明窗。