微细形状转印片之制造方法及制造装置

摘要

本发明系关于一种微细形状转印片之制造方法，系藉由将由热可塑性树脂而成的片状基材设置于压模（imprint mold）与中间基材之间，利用一对加压板予以加压而将压模的微细凹凸形状赋形于片状基材之制造方法；其中，加压板之施加压力成为最大时，加压以使在压模之赋形面内存在赋形压力差，并且，最大赋形压力部存在于赋形面内，并且，赋形压力采取极小值的部位不存在于赋形面内。根据本发明，无混入有空气之不良而能够得到均匀且高精确度之转印成形状态。