发明名称 |
铝合金膜、电子装置及电子光学显示装置用主动矩阵基板 |
摘要 |
【课题】提供不仅防止与ITO或矽之界面扩散,且可适用于要求低温制程之各种电子装置之低电阻电极膜用铝合金膜。【解决手段】与本发明之一形态有关之铝合金膜,系包含由镍形成之第1添加元素与从属于元素周期表之周期2或3之2a族的硷土族金属、3b、4b族的半金属中选出至少1种类以上之第2添加元素。又,第1添加元素的组合比为0.5~5at%、第2添加元素的组合比为0.1~3at%。 |
申请公布号 |
TW200923970 |
申请公布日期 |
2009.06.01 |
申请号 |
TW097130651 |
申请日期 |
2008.08.12 |
申请人 |
三菱电机股份有限公司 |
发明人 |
井上和式;石贺展昭;长山佑;津村直树;中匠 |
分类号 |
H01B1/02(2006.01);H01L21/3205(2006.01);C22C21/00(2006.01) |
主分类号 |
H01B1/02(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
洪澄文 |
主权项 |
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地址 |
日本 |