制造电子装置之方法及电子装置

摘要

本发明揭示一种制造具有提供于具有一薄膜电晶体之一基板上的一光阻图案之一电子装置的方法，该方法包括以下步骤：藉由涂布在该基板上以覆盖该薄膜电晶体之状态而形成一光阻膜；藉由使该光阻膜经过曝光与一显影处理而形成一光阻图案；以及在防止该薄膜电晶体之一通道部分受到具有短于260 nm之一波长的光照射的条件下在一乾燥环境中使用紫外光与可见光之至少一者来照射该光阻图案，其中热硬化该光阻图案的步骤系在使用紫外光与可见光之至少一者照射之后进行。