基板搬送装置及观察装置

摘要

一种基板搬送装置，系将基板(晶圆10)搬送于基板交接位置32与既定位置(观察部20)之间，其具备：可旋转之旋转载台33，可使该基板在该基板交接位置与该既定位置之间往返；以及定位构件34，在由该既定位置移动至该交接位置之期间，使该旋转载台旋转以定位在既定旋转位置。