矽玻璃坩埚和其制造方法及拉晶方法

摘要

为了将外部辐射的热充分地分散，防止矽融液的温度不均，并且具有良好的热传导性，使得形成矽融液的升温时间不会太长，而在坩埚整体的较广范围形成均热状态，故在外面层由含气泡矽玻璃层所形成，且内面层由无法以肉眼观察到气泡的矽玻璃层所形成之矽玻璃坩埚中，在外面层与内面层之间介设有中间层，该中间层层积有：含气泡矽玻璃层（气泡含有层），以体积气泡含有率0.1％以上含有直径100μm以下的气泡；和矽玻璃层（透明玻璃层），以体积气泡含有率0.05％以下含有直径100μm以下的气泡。