| 摘要 |
本发明的课题在于，不会降低图案检查的处理量，可进行反射照明手段的照度测定，且不会遗漏孔（pit）的存在。用以解决课题之手段为，摄像单元（51）扫瞄于工件（W）的宽度方向，以摄像单元（51）接收受到反射照明手段（21）所照明的配线图案像，以未图示之控制部予以记忆。又，来自于反射照明手段（21）之照明光被反射构件（反射镜）（60）反射，以摄像单元（51）接收。控制部是将将反射构件（60）之反射光进行图像处理，求取辉度，将此辉度与下限值进行比较，若较下限照度之辉度低的话，则视为反射照明光的照度降低，控制部停止装置运作，进行警报等的错误显示。又，若反射构件（60）的辉度为下限照度之辉度以上的话，控制部（4）进行所摄像之配线图案的检查。 |
