发明名称 PROCEDE DE MODERATION DE DEFORMATION
摘要 L'invention concerne un procédé de transfert d'une couche (5) en un premier matériau sur un deuxième substrat (7) en un deuxième matériau, comportant :a) une étape de formation d'un premier plan de fragilisation (4) dans un premier substrat (6) en premier matériau, par une première implantation ionique et/ou atomique (3) à travers une première face (2) dudit substrat,b) une étape de formation d'un deuxième plan de fragilisation (4') dans ledit premier substrat (6), par une première implantation ionique et/ou atomique (3') à travers une deuxième face (2') dudit substrat, afin de réduire une courbure de ce premier substrat,c) une étape d'assemblage des premier et deuxième substrats (6, 7),d) une étape de séparation d'une couche du premier substrat au niveau du premier plan de fragilisation (4), sans séparation au niveau du deuxième plan de fragilisation.
申请公布号 FR2924273(A1) 申请公布日期 2009.05.29
申请号 FR20070059392 申请日期 2007.11.28
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ETABLISSEMENT PUBLIC A CARACTERE INDUSTRIEL ET COMMERCIAL 发明人 MORICEAU HUBERT;ROUSSIN JEAN CLAUDE
分类号 H01L43/12;B81C1/00;H01F10/24;H01F41/14 主分类号 H01L43/12
代理机构 代理人
主权项
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