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Vorgeschlagen wird ein Verfahren und eine Vorrichtung zur automatisierten Herstellung von funktionalen Objekten mit einer dreidimensionalen Nanostruktur, insbesondere von Sensoren für die Rastersondenmikroskopie, wobei die Vorrichtung umfasst:<br/>a) eine Feststelleinrichtung (2) zur Fixierung eines Substrats (1),<br/>b) einen Verschiebetisch (3) mit Stellantrieb (11) zur Positionierung des Substrats (1) für eine Bearbeitungs- und/oder Prüfsequenz<br/>c) ein Mikroskop (4) zur Erzeugung von Aufnahmen des Substrats (1) oder von Teilen des Substrats (1),<br/>d) ein Bildanalysemittel (5), welches zur Analyse der Aufnahmen hinsichtlich des Auftretens definierter Merkmale und zur Gewinnung und/oder Übermittlung von Stellanweisungen an den Stellantrieb (11) des Verschiebetischs (3) in einer Positionierungssequenz ausgebildet ist und<br/>e) eine Quelle (6) für einen Energie- und/oder Materiestrahl (7) zur Bearbeitung des Substrats (1). |
