Verwendung eines Ionenleiters für einen Gassensor

摘要

Ein einziger Ionenleiter wird zur Messung von die Umwelt belastenden Abgaskomponenten verwendet, insbesondere als Sauerstoffpumpe. Zur Bestimmung von NOx im Abgas wird ein Sensorchip im Abgaskanal montiert, der einen einzigen Ionenleiter zur Bestimmung von NOx aufweist. Vorzugsweise weist der Sensorchip einen Heizwiderstand auf und wird mit diesem geheizt. Ein Chip mit Heizleiter und Sauerstoffpumpe auf dessen Substrat ist mit einem Abgasschutz ausgestattet. Die äußere Elektrode einer Sauerstoffpumpe enthält neben Platin mindestens 20 Gew.-% Gold, Rhodium, Ruthenium, Palladium oder Silber. Auf einer elektrisch isolierenden Oberfläche eines Substrats ist eine Widerstandsstruktur und parallel hierzu beabstandet ein Ionenleiter angeordnet, dereitenwänden abschließt.