移动体驱动方法及移动体驱动系统、图案形成方法及装置、曝光方法及装置、元件制造方法、测量方法、以及位置测量系统

摘要

一边使用干涉仪系统监视晶圆载台(WST)之XY位置，一边使晶圆载台移动，使用面位置感测器(72#sB!k#eB!,74#sB!i#eB!,76#sB!j#eB!)于X轴方向及Y轴方向扫描Y标尺(39Y#sB!3#eB!,39Y#sB!4#eB!)，藉此测量面位置感测器之XY设置位置。根据所取得之设置位置资讯，使用面位置感测器测量晶圆载台在XY平面(移动面)之垂直方向与倾斜方向的位置座标，藉此稳定且高精度地驱动晶圆载台。