污染防止系统，微影装置，辐射源及器件之制造方法

摘要

本发明揭示一种污染防止系统，其经建构及配置以防止材料随辐射而传播至一微影装置中。该污染防止系统包括一具备复数个整体径向向外延伸叶片之可旋转载体。该等叶片经建构及配置以吸收或偏转该材料。该系统亦包括一静止机械轴，及一经建构及配置以围绕该机械轴而旋转该可旋转载体及该等叶片之轴承。该可旋转载体具备一用于至少部分地收纳该机械轴之一部分的空间。