| 摘要 |
磁控管致动器(140)以近乎任意径向与方位角路径于电浆溅射室(10)的靶材(18)背面移动磁控管(42)。磁控管致动器包括二同轴旋转轴杆(28、30)，其沿着腔室中心轴(14)延伸并耦接至二独立控制的旋转致动器(178、180)。周转圆构件(40)或蛙腿式构件(210)系机械连接轴杆和磁控管，用以控制其径向与方位角位置。垂直致动器(144)一前一后地垂直移动轴杆，藉以改变磁控管与靶材背面的间隔及补偿正面的侵蚀。旋转致动器分别连接至轴杆，或者可旋转之环形齿轮透过固定与似行星运行的惰轮齿轮而耦接至轴杆。二径向隔开之感测器(234、236)侦测附接至周转圆构件之内臂与外臂(116、122)的反射器(230、232)，用以引导控制器(238)。 |
