Beleuchtungseinrichtung, Verwendung der Beleuchtungseinrichtung bei flächigen Substraten und Inspektionseinrichtung mit Beleuchtungseinrichtung

摘要

Es ist eine Beleuchtungseinrichtung (80) für die Inspektion von flächigen Substraten offenbart. Das flächige Substrat (6) umfasst einen oberen Randbereich (6a), einen unteren Randbereich (6c) und einen Stirnbereich (6b). Die Beleuchtungseinrichtung (80) ist als Kreisringsegment (81) ausgebildet und besitzt eine Öffnung (82), in die zumindest der Randbereich des flächigen Substrats (6) hineinragt. Eine Vielzahl von Lichtquellen (120) sind auf einem Kreisringsegment (81) in einem Gehäuse angeordnet. Im Innern des Gehäuses ist ein reflektierendes Element (103) vorgesehen, sodass das Licht der Lichtquellen (120) nicht senkrecht auf den oberen Randbereich (6a), den unteren Randbereich (6c) und den Stirnbereich (6b) des flächigen Substrats (6) trifft.