Prüfvorrichtung

摘要

Eine Prüfvorrichtung umfasst ein Gestell, das ein äußeres Stützelement aufweist, das eine Schaltungsschicht stützt und ein mittiges Stützelement, das eine Fühleranordnung stützt. Wenn das Prüfgerät auf der Schaltungsschicht der Prüfvorrichtung von der oberen Seite aufsetzt, dann trägt das äußere Stützelement des Gestells diese Aufsetzungslast. Wenn die Fühler des Fühlerhalters auf den elektronischen Komponenten eines zu untersuchenden IC-Wafers aufsetzen, dann trägt das mittige Stützelement des Gestells die Auflagekraft von dem IC-Wafer.