发明名称 | 高压元件与高压元件之顶层的制造方法 | ||
摘要 | 一种高压元件,包括第一导电型之基底、闸极、第二导电型之井区、第二导电型之源极区与汲极区、多个导体层以及第一导电型之顶层。闸极设置于基底上,井区设置于闸极一侧的基底中。源极区设置于闸极另一侧之基底中,汲极区设置于井区之基底中。多个导体层设置于闸极与汲极区之间的基底上。顶层设置于导体层下方之井区的基底中,其中,接近闸极之这部分顶层的厚度大于远离闸极之这部分顶层的厚度。 | ||
申请公布号 | TW200917481 | 申请公布日期 | 2009.04.16 |
申请号 | TW096138493 | 申请日期 | 2007.10.15 |
申请人 | 联华电子股份有限公司 | 发明人 | 黄志仁;许世明 |
分类号 | H01L29/78(2006.01);H01L21/336(2006.01) | 主分类号 | H01L29/78(2006.01) |
代理机构 | 代理人 | 詹铭文;萧锡清 | |
主权项 | |||
地址 | 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号 |