发明名称 高压元件与高压元件之顶层的制造方法
摘要 一种高压元件,包括第一导电型之基底、闸极、第二导电型之井区、第二导电型之源极区与汲极区、多个导体层以及第一导电型之顶层。闸极设置于基底上,井区设置于闸极一侧的基底中。源极区设置于闸极另一侧之基底中,汲极区设置于井区之基底中。多个导体层设置于闸极与汲极区之间的基底上。顶层设置于导体层下方之井区的基底中,其中,接近闸极之这部分顶层的厚度大于远离闸极之这部分顶层的厚度。
申请公布号 TW200917481 申请公布日期 2009.04.16
申请号 TW096138493 申请日期 2007.10.15
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 黄志仁;许世明
分类号 H01L29/78(2006.01);H01L21/336(2006.01) 主分类号 H01L29/78(2006.01)
代理机构 代理人 詹铭文;萧锡清
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行二路3号